工业应用

半导体应用加热棒

发布时间:2015-08-10
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auto_190.png胜群电热提供优质半导体应用加热器,优质传热、恒温功能、高品质原材料、抗氧化性、耐腐蚀性和耐用性、加热均匀、可达到分段控制加热。

加热棒性能:

1、合金 Incoloy800 护套能够承受高达 1400°F (760°C) 的部件温度

2、功率密度高达50W/cm2,确保热量在护套上均匀有效的分布

3、最大电压高达 480V

4、特定粒度和纯度的氧化镁绝热材料,可增强绝缘强度,并可快速加热

前端设备(包括外延反应器,垂直扩散炉,PECVD反应器,集束型设备[⑤],原子层沉积设备,等离子体增强原子层沉积(PEALD)设备),后端设备(包括芯片焊接设备,焊线机,切筋/成型设备,封装模具,自动化装配和测试设备。离子刻蚀设备、离子注入机、薄膜沉积设备、掩膜板制造设备、检测设备、测试设备、表面处理设备、控制光刻机、刻蚀设备、单晶圆沉积设备、晶圆清洗设备、涂胶机/显影机、退火设备、检测设备、测试设备、点胶机。

 


 



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